MPO – Micro Plasma Oxidation.

應用金屬底材:

Aluminum

膜層結構:

• 外層疏鬆層 – 直徑為1-10μm類似火山 口的小孔
• 內層緻密層 – 緻密層比較厚是氧化膜的主體，與基體互相鑲嵌， 構成緊密的冶金結合
• 膜層由下而上 : 基材、介面層、氧化層、多孔層
  1. 介面層：介於基材和氧化層之間，厚度不超過1μm，具有良好的可彎折性不 易脫落，且平整度與均勻度均佳
  2. 氧化層：位於介面層之上，又有功能層之稱，為細密的多孔層與微孔層堆積 而成。試件最主要的硬度及耐磨耗、抗蝕等性能均由此層表現
  3. 多孔層：為最外層，氧化層的上層，所表現出來的試件顏色與金屬本身 元件光譜特徵有關

塗層硬度測試數值

耐磨性能

膜層絕緣性

本實驗結果表明，對於純鋁試樣，膜厚在10μm，體積電阻可達 490MΩ，而鋁合金試樣在膜厚為10μm時，體積電阻高達630 MΩ。

實績應用

導入TFT LCD 曝光機Stage coating應用

Cell-USC Table MPO Coating 

1. Table 尺寸: 1120 x 1320 x 20 mm
2. Table 材質: 鋁合金
3. Table 平面精度: <30um
4. 鍍膜平面精度: 30um ± 10um
5. ESD: <150V
6. 吸著值: >-80 kpa