MPO-陶瓷絕緣鍍膜應用
MPO – Micro Plasma Oxidation.
應用金屬底材:
Aluminum
膜層結構:
- 外層疏鬆層 – 直徑為1-10μm類似火山 口的小孔
- 內層緻密層 – 緻密層比較厚是氧化膜的主體,與基體互相鑲嵌, 構成緊密的冶金結合
- 膜層由下而上 : 基材、介面層、氧化層、多孔層
- 介面層:介於基材和氧化層之間,厚度不超過1μm,具有良好的可彎折性不 易脫落,且平整度與均勻度均佳
- 氧化層:位於介面層之上,又有功能層之稱,為細密的多孔層與微孔層堆積 而成。試件最主要的硬度及耐磨耗、抗蝕等性能均由此層表現
- 多孔層:為最外層,氧化層的上層,所表現出來的試件顏色與金屬本身 元件光譜特徵有關
塗層硬度測試數值
耐磨性能
膜層絕緣性
本實驗結果表明,對於純鋁試樣,膜厚在10μm,體積電阻可達 490MΩ,而鋁合金試樣在膜厚為10μm時,體積電阻高達630 MΩ。
實績應用
導入TFT LCD 曝光機Stage coating應用
Cell-USC Table MPO Coating
- Table 尺寸: 1120 x 1320 x 20 mm
- Table 材質: 鋁合金
- Table 平面精度: <30um
- 鍍膜平面精度: 30um ± 10um
- ESD: <150V
- 吸著值: >-80 kpa